大家好,小夏来为大家解答以上的问题。晶圆返工，关于晶圆返工介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧！

1、 光刻工艺完成后，当晶圆上的光刻胶图形不符合要求时，使用化学方法可以把晶圆表面的光刻胶清除掉。

2、然后重新涂胶、曝光，这个过程被称为晶圆返工（rework）。

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